精密平台可应用于线路板外层、柔性线路板等。
通讯方式：EtherCAT
方案配置：ETD驱动器 + 直线电机
方案特点：支持多轴误差补偿。
支持龙门系统。
具有振动抑制功能。
可实现运动轴千分之一的速度波动。
10毫秒内的整定时间提高整个装备的运动稳定性。
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